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商品一覧-半導体機器
CyberOptics社 CyberOptics 社日本正規代理店
Cyber Optics社
  Cyber Optics社
サイバーオプティクス社 (Hama Labs社は1999年に同社に買収されました)はウェハーハンドリングに関連した各種センサーを供給しています。ウェハーマッピングセンサはローダー内 のウェハーのセット状態(姿勢)を検出します。反射型センサーは被検知物の色、すなわち反射率の影響を受けますが、このセンサーはウェハーの色の影響を受 け難く、レーザー光は0.05mmに絞られているためたいへん高精度の検知が可能です。
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