CyberOptics
社日本正規代理店 |
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Cyber Optics社 |
サイバーオプティクス社
(Hama
Labs社は1999年に同社に買収されました)はウェハーハンドリングに関連した各種センサーを供給しています。ウェハーマッピングセンサはローダー内
のウェハーのセット状態(姿勢)を検出します。反射型センサーは被検知物の色、すなわち反射率の影響を受けますが、このセンサーはウェハーの色の影響を受
け難く、レーザー光は0.05mmに絞られているためたいへん高精度の検知が可能です。
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スペクトリス社PMS事業部製品正規取扱代理店 |
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