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商品詳細-微量水分計
TigerOptics社

 TigerOptics社の CRDS方式(キャビティ・リングダウン分光方式)の分析装置はキャビティ内の両端に高反射率ミラー(またはプリズム) を配置しその一端からレーザー光を導入し、 多重反射させこのレーザー光を遮断した後の漏出光の減衰速度からセル内部の近赤外光吸収を測定する分析方式です。
減衰時間と測定対象成分の吸収断面積から直接濃度算出ができ、 算出にミラーの反射率やレーザー強度も使用しないため、理想的な絶対測定ということができ、 本質的に校正が不要です(御社の品質管理上必要であれば装置の状態を解析することができ、状態によりメーカーの証明書をお出しすることも可能です)。
 多重反射を使用し実質的光路長が極めて長いため高感度で、セル内部のガスを非接触でリアルタイムに連続測定でき尚且つ高速応答が得られます。 また、絶対測定による高精度、高信頼の測定が可能で、極めて広い測定レンジを持っています。
 光吸収のある各種成分の分析が可能な装置ですが、従来測定が困難であった微量水分領域で簡単に正確な測定が実現されており、 標準的な微量水分分析方式となりつつあります。なお、ここにご紹介しているのは代表的な機種であり、他にも各種装置を取り揃えてあります。

詳細は以下のURLをクリックしてください。
http://www.tigeroptics.com/products.html
 
SPARK ローコスト水分アナライザー
 ● ガス中水分測定では絶対的なCRDS方式
 ● Auto Tune-Tau-Zero : 自動ゼロ点補正
 ● 校正不要
 ● 低ランニングコスト
 ● 早い応答性
 ● 2000ppmまで測定可能
 ● Ethernet/4-20mAアナログ電流出力/RS通信 標準装備
TigerOptics社 新製品「SPARK」
HALO 3 H2O 微量水分アナライザー
同社のCRDS方式 の水分分析装置の中で最もコンパクトかつ低価格で使いやすく、窒素中の水分の場合、 検出下限1.5ppbで上限20ppmまでの測定レンジを持っています。 HALO 3 H2O 微量水分アナライザー
HALO KA H2O 超高純度ガスアナライザー
HALO 3 H2Oの上位機種で超高純度ガス分析用、窒素中の水分の場合、 検出下限400pptで上限20ppmまでの測定レンジを持っています。 HALO KA H2O 超高純度ガスアナライザー
ALOHA/ALOHA+アンモニア中微量水分アナライザー
アンモニア (NH3)中の微量水分を測定する装置です。セル内部を減圧することで水に対するベースガス吸収の影響を低減しています。高輝度LED製造向きで、アンモニア中の水分の検出下限は10ppbです。 ALOHA アンモニア中微量水分アナライザー
Laser Trace 2.5/3 超高純度多成分ガスアナライザー
微量水分分析、各種 成分分析の両方が可能な装置です。本体と測定セルが別体になっており、 一つの本体に4つまでセルを増設でき、4つのベースガスを同時に連続測定可能です。豊富なベースガスと測定成分のメニューを持っております。
感度も高く、窒素中の水分を測定する場合の検出下限は250pptです。
LaserTrace 3 超高純度多成分ガスアナライザー
Prismatic 2 多成分ガスアナライザー
ミラーの代わりにプリズムを採用した新方式の多成分ガスアナライザーです。
1本のセルに複数のレーザー光を同時に導入することで同時多成分分析が可能です。プリズムの全反射を使うことでミラー以上の高反射率を広い波長範囲で得ることができるため、感度も高くさまざまな微量成分のリアルタイム分析が可能です。
Prismatic 各種成分測定用
Tiger-i 環境汚染物質アナライザー
タイガーオプティクス社のTiger-i は他の装置と異なりプロセスガス用ではなく、環境測定用の装置です。 たとえば半導体の露光プロセスではクリーンルーム内にアンモニアガス、塩素ガス、フッ素系のガス等がTLV値よりもはるかに低い量で存在しますと露光機の レンズの曇り等の原因となりステッパーの解像度を下げることがあります。この装置は排気ポンプと組み合わせることで環境中の微量成分分析を行います。
ガス種に応じた多種のモデルがあります。
Tiger-i 環境大気測定用
■ トピックス
水分分析の基準となる水分量は現在では微 量水分領域においても国際的な標準が確立しております。従来微量水分については明確な基準の無いまま分析がなされてまいりましたが、米国のNISTをはじ めとした各国で水分量の一次標準を持っており、分析もこれに対するトレーサビリティを取る必要があります。
参考文献(Synthesiology/vol.2 No.3) : http://www.aist.go.jp/synthesiology/vol02_03/vol02_03_p223_p236.pdf
微量水分の測定については次のサイトに詳 しく説明されております。
微量水分領域の湿度標準 : http://staff.aist.go.jp/abe.h/TraceMoisture/Welcome.html
微量水分における国内の一次標準は産業技 術研究所(AIST)に、二次標準は化学物質評価研究機構(CERI)にあり、公的な校正サービスも受けることができます。私共でも化学物質評価研究機構 の校正サービスを直接CERIにお申し込みいただく場合と同じ金額で、お取次することができます。ご活用ください。
化学物質評価研究機構 : http://www.cerij.or.jp/service/07_analysis_and_evaluation/moisture_meter.html
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